序號

標段具體稱謂

投標（biāo）適用範圍（wéi）

過渡（dù）具體要（yào）求

寄遞所在地

相關信息服務費（元）

青海黃河中上遊（yóu）電流研發著名具體責任公司太陽能（néng）幹電池及機件（jiàn）研發開（kāi）展（zhǎn）實（shí）驗室（shì）鈣鈦礦幹電池研發服務平台開展（zhǎn）建設具體項目磁控濺射設備進行采購具體項目
DNYZC-2025-1 1-26-029-01

投標範（1）主統、真備所必采用指持續並提供（2）備配合設（3）專方扳子組成設到，但容裏麵2.3主
2.3.1真

圍
要設（shè）備：進行采購空係統、膜厚須的進行安裝備件南、檢修講解員認為的技術服品附件：掩膜備規格的密封用工（gōng）器械：拆、內六方扳子（zǐ）備的任意（yì）一種相關情況構件（jiàn）對（duì）該設備的安。

要（yào）完成配置及技（jì）術
空蒸鍍設備主

局部真空蒸（zhēng）鍍設備1套，重點包（bāo）含基（jī）片設置、作為實時（shí）監督係統、電動進行控製係統（tǒng）及水冷（lěng）係（xì）統等，與此同時及進（jìn）行顧（gù）贍設備、隨便文獻（xiàn）、技術文檔（包含進行操（cāo）作或（huò）服（fú）務表冊），責任政府需要、進行安裝、進行調試（shì）、進行檢查務（wù）與質量確保、售後服務、技術開（kāi）展培訓（xùn）等。

版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35圈等；
卸、進行安裝、收拾設備時特地（dì）的工器械1套（包、螺（luó）絲釘刀、扳子等裝（zhuāng）備）。

、機件和（hé）設置在滿足相關條件時在本供貨適用範圍（wéi）及具體工作具體內容中全（quán）值得信賴正常運轉是必備的（de），也應包含在供貨適（shì）用範圍及

形式參數
要完成配置

發（fā）澱積物係包括設表冊、、驗光

銅洗衣機、

包括外六

並未提（tí）具體工作內

較為條約（yuē）訂約起作用後
120趕明兒整批寄遞（包括附件及裝備）（詳細其次卷第六章供貨具體要求）

本具體項目坐落在陝（shǎn）西省西安長（zhǎng）安太空飛行生產基地東長安街589號

300

序號

使用性能參照具體稱謂

技術具體要求

備考

1.1

局部真空鍍膜室

1.1.1

材料到整體結構（gòu）

局部真空室使用304不鏽（xiù）鋼，腔體內壁有關電解投擲

1.2.2

積極分子泵

抽氣利率更加不小於3000 L/s

1.2.3

機械泵

抽氣利（lì）率更（gèng）加（jiā）不（bú）小於25 m3/h

1.2.4

局部真空進行測量時段

空氣環境（jìng）萬（wàn）級清潔間空氣下從常（cháng）壓抽至≤5×10-4 pa時段（duàn）≤30 min；

1.2.4

較為範圍局部真空進行測量

進行測量適用範圍從（cóng）1×105Pa到5.0×10-5 Pa

1.2.4

局部真空密封

使（shǐ）用非金屬密封和氟橡皮圈密（mì）封

1.3

作為室基片設置

1.3.1

基片（piàn）材料

導熱安全玻璃

1.3.2

工藝品度量衡

400 mm×400 mm的工藝品且可進行絨毛配合數（shù）量更多度量衡

1.3.3

基片進行盤（pán）子

借助發電機革命0~30 rpm持續可調

1.4

作為源和作為電（diàn）源供應

1.4.1

作為源（yuán）

進行配置2組非金屬作為源和（hé）4組考古（gǔ）作（zuò）為源，可配合蒸鍍（dù）非金屬、考古及考古材料；源與源彼此之（zhī）間均（jun1）配給避免穿插造成汙染（rǎn）的預防汙染（rǎn）板

1.4.2

非（fēi）金（jīn）屬作為電源供（gòng）應

進行配置可計算機編程的（de）直流電流（liú）穩壓非金屬（shǔ）作為電源供應（yīng）1套，非金屬作為電源供應（yīng）權力≥1.5 KW及上述，萬丈（zhàng）升壓（yā）熱（rè）度可達1500℃，且（qiě）借助脈動電流進行控製方法，準確到0.1 A，並達成蒸（zhēng）鍍利率（lǜ）0.01Å/s的精確程度結果表明，可開展脈動電流、聚氯（lǜ）乙（yǐ）烯運行方式的隨意

改稱和具備水冷進行（háng）控製

1.4.3

考古作為電源供應

進行配置考古作為電（diàn）源供應1套；可借助脈動電流或PID智能化溫控方法（fǎ）開展進（jìn）行控（kòng）製（使用脈動電（diàn）流進行控製方法（fǎ）時需準確到0.1A，並達（dá）成蒸（zhēng）鍍利率0.01Å/s的精確程度結果表明（míng），可開展脈動（dòng）電（diàn）流、聚氯乙烯運行方式的隨意改稱和具備水冷進（jìn）行控（kòng）製；使用PID智能化溫控方法時控溫精（jīng）確程度±1℃）；

1.4.4

進行控製係統

使用PLC+PC進行控製（zhì）方法

1.4.5

更為安全維護具體措施（shī）

缺吃少（shǎo）穿（chuān）欠壓開展檢測與維護、相序開展檢測與（yǔ）維護、熱度開展檢測與（yǔ）維護、局部真（zhēn）空係統開展檢測與維護。對泵、負極等缺吃少穿、過橫貫壓、斷路等不正常狀況開展告警並落實認為維護（hù）具體措施；使內容更（gèng）加完整的次序互鎖，具有的防（fáng）誤進行操作設計及維護。

1.5

膜厚檢測係統（tǒng）

1.5.1

膜厚儀

老鼻子於1組膜厚（hòu）儀，老鼻子於2套膜厚開（kāi）展檢測探測器

1.5.2

作（zuò）為利率進行測量精確程（chéng）度

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)

1.5.3

膜厚儀進（jìn）行測量精確程度

膜厚（hòu）儀進（jìn）行測量精（jīng）確程度優惠±0.01Å/s，若鍍（dù）膜實現進行設置厚薄，可自動化隔離電源供應，需要鍍膜且擋板好意思

1.5.4

熱度進行控（kòng）製精確（què）程（chéng）度（dù）

±1℃（RT~700℃）

1.5.5

厚薄進行測（cè）量精確程度

優惠±1Å；具有與電源（yuán）供（gòng）應聯鎖具體功（gōng）能

1.5.6

片有關內膜厚（hòu）石灰石勻性

≤5.0%（工藝品度量衡400 mm×400 mm，且在20 nm~100 nm適（shì）用範圍內的地膜材料：包含（hán）但不禁止金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料（liào），且（qiě）由投（tóu）標方進行指派材（cái）料開展核（hé）驗），進行測試辦法：地膜切實有效區適用範圍內3×3進行陳列9點進行測量：石灰石勻性=（膜厚更（gèng）加最大值-膜厚短（duǎn）小值（zhí））/（膜厚更加最大值+膜厚短小值）*100%

1.5.7

片間膜厚石灰石勻性

≤5.0%（工藝品度量衡400 mm×400 mm，且在20 nm~100 nm適用範圍內的地（dì）膜材料：包含但不禁止（zhǐ）金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由投標方進行指（zhǐ）派材料開展（zhǎn）核驗），進行測試（shì）辦法：地膜切實有效區適（shì）用範圍內3×3進行陳列9點進行（háng）測量：石灰石（shí）勻性=（膜厚更加最大值-膜厚短小值）/（膜厚更加最大值+膜厚短小（xiǎo）值）*100%。

青海黃河中上遊電（diàn）流研發著名具體責任公司（sī）太陽能（néng）幹電池及機件研發開展實驗室鈣（gài）鈦礦幹電池研發服務平台開展建設具體（tǐ）項目北約設備進行采購具體（tǐ）項（xiàng）目
DNYZC-2025-1 1-26-029-02

1.6

自動化鍍（dù）膜（mó）係統

進行開始後依據使（shǐ）用者進行設置的起伏溫暖作為利率形式參數，自動化（huà）升（shēng）壓受到作為材料，依照編製利率蒸鍍，達到進行設立厚薄後自動化好意思擋板（bǎn），並（bìng）衝淡

寄遞期：較為（wéi）條約訂約起作用後90趕明兒（ér）整批寄（jì）遞（包（bāo）括附件及裝備）（詳細其次（cì）卷（juàn）第六章供（gòng）貨具體要求

本具體項目坐落在陝（shǎn）西省西安長安（ān）太空飛行（háng）生產基地（dì）東長安街589號

300

1.7

水冷係統

1.7.1

涼水機

控溫（wēn）適用範圍：5℃~30℃

1.8

生（shēng）產工（gōng）藝給予支（zhī）持

投標人給予C60和BCP進行進行鈣（gài）鈦礦機（jī）件價電子透明（míng）度層的蒸鍍生產工藝，確保投標方在其餘地膜層準備具體條（tiáo）件進（jìn）行穩定（dìng）時使用該生產工藝準備價電子透明度層的鈣鈦礦太陽能（néng）幹電池使用性能不不可企及投標方采用旋塗法紀備PCBM和BCP進行進行價電（diàn）子透明度層的（de）使（shǐ）用性能。

投標
（1）采的除塵備、隨冊（cè）)，負證、售（2）
（3）
（4）構有提出作具體（tǐ）內容（róng）2.3主
2.3.1雙

適用範圍（wéi）
購1台雙路（lù）器、水（shuǐ）冷機機文（wén）獻、技責需要、安後服務、技特地工器械：易耗件：水冷成設備的任，但對該設（shè）裏麵。

要完成配置及技（jì）術路北約塗抹

激、
術
裝術

何備

清

光塗抹清（qīng）邊設備，包含雙路北約塗抹金（jīn）相顯微鏡模塊文件還有設備所（suǒ）一定要的安（ān）材料(包含進（jìn）行操作表冊、采用講解員、檢修、進行調試（shì）、進行檢查、驗光持續並提供認為的技開展培訓等。

北約權力進行測試儀（yí）、絕緣體進行（háng）測試儀、萬用表機濾芯、除塵濾芯
構件、機件和設置在滿足相（xiàng）關條件時在本供貨適用範圍的安全且可靠（kào）正常運轉（zhuǎn）是必備的，也應包含

形式參數：
邊（biān）設備（bèi）重點完成配置

清邊設
裝備件及講解員或
術服務與

。

及（jí）具體工（gōng）作外在（zài）供貨範

備、提供配套支持進行顧贍（shàn）設服務手（shǒu）
與質量保

具體內容中沒圍及工

序
號

使用性能（néng）參照具（jù）體稱謂

具體要求形式（shì）參數值

備

注

裏外裏具體要求

/

1.1

進行加工幅麵

50 mm*50 mm～400 mm*400 mm，可依據片源大大小小開展調整

1.2

可進行加工基材厚薄

0～40mm，應用軟（ruǎn）件中參加基材厚薄後，設備自動化進行焦點

1.3

自治權整（zhěng）體結構

銲接鋼整體結構（gòu）+有關大理石根據，整機設備外光路使用全密封設計並完成配置查看河口，防止散射人眼

納秒紅外北約係統

/

2.1

北約種類

1064 nm納秒紅外；

2.2

北約（yuē）器權力

100W，應用軟件內可進行（háng）設置

2.3

北約器權力盛衰興廢保持穩定性（xìng）

＜5%RMS

2.4

北約器持續可調效率適用（yòng）範圍

不不可企及（1～1000）kHz

2.5

北約器脈寬適用範圍

更加不（bú）小於20 ns～200 ns，應用軟件內可（kě）進行設置

2.6

光球質量M2

≤1.5

2.7

短小塗抹幅（fú）度

20um～30um

2.8

短小塗抹間（jiān）隔

20um～30um

2.9

熱產生相應作用區

單側≤5um

2.10

清邊幅度

≥10mm

2.11

清邊時段

<11min（邊長400mm，幅度10mm）

2.12

絕緣體阻力

塗抹後>2MΩ、清邊後>100MΩ

2.13

光斑整形

完成配置可用於本設備紅外北約係統易拆除電子光學備件（jiàn），具有（yǒu）將圓圈（quān）光斑整形為四方形光斑及將高斯光斑整逐漸形成平（píng）屋頂光斑的具（jù）體（tǐ）功能

皮秒紫外北約係統（tǒng）

/

3.1

北約種類

355 nm皮秒紫外

3.2

北約器權力

≥15W，應（yīng）用軟件（jiàn）內可進（jìn）行設置

3.3

北約器權力盛（shèng）衰興廢（fèi）保持（chí）穩定（dìng）性

＜3%RMS

3.4

北約器持續可（kě）調效率適（shì）用範圍

不不可企及（1～1000）kHz

3.5

北約器脈寬

＜15ps

3.6

光球質量M2

＜1.3

3.7

短小塗抹（mò）幅度

20um～30um

3.8

短小塗抹（mò）間隔（gé）

20um～30um

3.9

熱產生相應（yīng）作用區

單側≤10um

3.10

光斑整形

完成配置可用於（yú）本設備紫（zǐ）外北約係（xì）統易拆除電子光（guāng）學備件，具有將（jiāng）圓圈（quān）光斑整形為四方形光斑及將高斯光斑（bān）整逐漸形（xíng）成平屋頂光斑的具體功能

進行加工服務平（píng）台

/

4.1

發（fā）電機完成配置

X軸及Y軸使用母線發電機（jī）需要，關於兩路北（běi）約器各自（zì）具備僅僅的Z軸需要係統

4.2

服（fú）務平台度量衡

可進行加工（gōng）更（gèng）加最大400 mm×400 mm度量衡基材，較（jiào）為正常方法為局部真空吸煙，桌麵兒上使用（yòng）非鋁鋁（lǚ）合金耐恒（héng）溫材料

4.3

XY軸（zhóu）固定精確程度

≤±3μm

4.4

XY軸荷複固定精確程度

≤±3μm

4.5

XY軸更加最大活動（dòng）運行速度

≥1000mm/s

4.6

Z軸（zhóu）精確程度

≤±5μm

4.7

塗抹平行線度

≤±10μm/m

4.8

軌道修改

劃刻道路可（kě）應用軟件內修改、能（néng）夠使用CAD文獻導出（chū）、可進行設置某段道路北（běi）約的電門，能儲存20個上述生（shēng）產工藝（yì）具（jù）體方案

例如固（gù）定（dìng）係統

/

5.1

CCD像素（sù）

≥500萬（wàn）

5.2

CCD固（gù）定精確程度

≤±2µm

抽塵機

/

6.1

總具（jù）體要求

北約進行加工完整過程中同時進行吸塵

6.2

除塵實際效果

配給多（duō）級加以過濾（lǜ）係（xì）統，除塵工作效率≥99.9%（0.1～1μm灰土細顆粒（lì）物（wù））

6.3

膻（shān）氣

可直來直去過渡廠務熱排風係（xì）統

/

5孔（kǒng）目的物天橋，目（mù）的（de）物公倍數為5X、10X、20X、50X、100X，眼（yǎn）睛鏡公（gōng）倍數10X，瞳距持續可調（diào）

7.2載（zǎi）物台

度量衡更加不小於150 mm×120 mm，活動適用範圍更加不小於70mm×50 mm，分外進行配置貨架以確保大度量衡鑄件踏踏實實進行置放（fàng）

3

青海黃河中上遊電流研發著名具體責任公司太陽能幹電池及機件（jiàn）研發開展實驗室鈣鈦礦幹電池研發服（fú）務平台開（kāi）展建設具體項目狹縫塗布及附庸國設備進行采（cǎi）購具體項目
DNYZC-2025-1 1-26-029-03

投標適用範圍
（1）重點（diǎn）設備：狹縫（féng）塗添（tiān）設備1台
附庸國設備：局部真空製晶設備1台、退學設備1台。

工藝品附件：支氣管、液管、管（guǎn）路搭接片、安（ān）全玻璃供液罐、華司。

特地裝備：電力（lì）扳子（zǐ）、米千克秒內關於六角扳子、有關（guān）大理石（shí）平尺、矽片取放料裝備、油石。

（2）隨便文獻（xiàn）、技術文檔（包含進行操作表冊、采用講解員、檢修講（jiǎng）解員（yuán）或服務表冊），責任政府設計、製造（zào）、進行試驗（包含工場進行（háng）試驗、出廠進（jìn）行試驗、完成交接進行試驗）、供貨、產品包裝、需要、工作現場進行安裝、進行調試及（jí）試正常運轉，持續並提供認為（wéi）的技術服務與質量確保、售（shòu）後服務、技術開展培訓等。

（3）組成設備的任意一種相關情況構件、機件（jiàn）和設置在滿足相關條件時在本供貨適用範（fàn）圍及具體工作具體內容中並未提出，但對該設備的安全且（qiě）可（kě）靠正常運轉是必備的，也應包含在供貨適用範圍及具體工作具體內容裏（lǐ）麵（miàn）。

較為條約訂約後4個月內順利完成設（shè）備（bèi）到會，並在關於（yú）兩周內順利完成設備的進行調試。

本具體項目（mù）坐落在陝西省（shěng）西安長（zhǎng）安太空飛（fēi）行（háng）生產基地東（dōng）長安街589號

300

2.3主2.3.1

要完成配置（zhì）及技術參狹縫塗添設備技（jì）

形式參數：
術形式參數

序
號

使用性能參照具體（tǐ）稱謂

具體要求形式參數值

1

可（kě）以使用基材

進行通明導熱安全玻璃、矽（guī）片等基材

2

可以使用基材度量衡

安全玻璃≥400 mm×400 mm，矽片≥166 mm×166 mm

3

漆膜表（biǎo）麵積

安全玻璃切實有效漆膜表麵積≥380×380 mm，矽片需（xū）滿塗（tú）

4

固容量

5-75%

5

可以使用基材厚薄

安全玻璃：1.1~3.5 mm
矽片：0.1~0.3 mm

6

塗布厚薄

0.1-10μm（幹膜）

7

塗布運行速度

0-100 mm/s，運行速度持續可調，運行速度精（jīng）確程度0.1 mm/s

8

塗布方（fāng）法

狹縫塗布

9

地膜平均性

片內地膜石灰石度≤5%（使用9點進行測試法，上述、下、左、右、中心9點為進行測量審美觀，進行計算方法為Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin)，U為膜厚），片間地膜（mó）石灰石

Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin)，U為膜厚），安全玻璃反麵無（wú）造成汙染。（設備接連不斷具體工作10個具體工作日均符合）

10

可以使用驅蟲（chóng）劑體係

醫道、油性、考古驅（qū）蟲劑等（děng）驅蟲劑型油（yóu）漆

11

設備進（jìn）行配（pèi）置雙龍門

有（yǒu）關每（měi）套龍門（mén）各配大會模頭、大會供液（yè）係統

12

塗矽片

設備可借（jiè）助進（jìn）行替換“吸煙服務平（píng）台（tái）、模頭”等機件的方法（fǎ），改稱為塗覆矽片的設備。所需的吸煙服務平台及模頭由製造廠配（pèi）齊（qí）

13

矽片取放

設（shè）備進行配置頂（dǐng）升設置，更加方便取放矽片

14

預塗具體功能

設備進行配（pèi）置預塗地理（lǐ）區域（yù）或預塗輥

15

活動係統

確保龍門或吸煙（yān）服務平台的踏踏實實（shí）活動，調平後亦指刀身與服務平台的比較而（ér）言平行線度＜20μm

16

塗（tú）布模頭（tóu）

使用半流體仿真（zhēn）器設（shè）計塗布模頭，亦指刀身母線度（R）≤3μm，惡劣度（dù）Ra≤0.025；唇口母線度（dù）（R）≤3μm，給予老三方更為專業開展檢測曉以大義

17

模頭數額完（wán）成配置

塗安全玻璃模頭進行配置2個，塗矽片模頭進行配置1個（gè）

18

塗布模頭材料（liào）

不鏽鋼鋁合金，具備較好的耐破壞使用性能，可（kě）拆（chāi）除進行除（chú）去，防突變

19

模頭起伏

模頭起伏使用高精確程度伺服機構（gòu）發電機方法需要；可自動化作出（chū）調整唇口與被（bèi）塗（tú）基材的暇時。漆膜較高（gāo）程度依基板厚薄自動化調整，可手動進行設置（zhì）補充具體功能。身邊人側方可自動化調平（調整模頭唇口與被塗基板的平行線度），自動化調平後，狹縫模頭整體水平（píng）校正錯誤精確程度≤±2μm

20

華司厚薄

0.05/0.08/0.1 mm

21

具體功能（néng）模塊文件

塗（tú）布模頭具備防撞、迅速充液和排泡具體（tǐ）功能（迅速充液和排泡具體功能符合對供液泵、模頭及管路開（kāi）展充液和（hé）排泡。從空模頭、空紙料罐情況到可開展漆膜（mó）情況（kuàng）彼（bǐ）此之間距離不可進行進步10 min）

22

基台及材料

整機攜有有關大理石承運進行阻尼基向量服務平台

23

基材測距

老是漆（qī）膜前，可自動（dòng）化開展檢測（cè）現（xiàn）階段基板較高（gāo）程度（厚薄），相同（tóng）片基板較高程度（厚薄）開（kāi）展（zhǎn）檢測錯誤（wù）≤3μm

24

注（zhù）液（yè）泵（bèng）

注液泵應能保障紙料（liào）抽出平均接連不斷，保證漆膜保持（chí）一致性，其運行（háng）速度精確（què）程度優惠0.1μl/s；供（gòng）液運（yùn）行速度在1-500μl/s，運行速度持續可調；具有自動化補液（yè）、補（bǔ）液後自動化泄壓及回（huí）吸具體功能

25

自動化進行（háng）除去模（mó）塊文件

設備具（jù）有自動化進行除去模頭具體功能，自動化進行除去後，一定要確保無藥液（yè）留下，管路及型腔外部無較為（wéi）清楚固體匯聚要樣兒；進行（háng）設置模（mó）頭進行除去地理區（qū）域，進行配（pèi）置壓刀槽和排液槽，協同配合以上自動化（huà）進行除去具體功能和迅速充液、排泡具體功能

26

吸煙服務（wù）平（píng）台（tái）

要樣兒平坦度≤±5μm，服務平台統（tǒng）一局部真空吸煙係統，大大小小持續可調

27

儲液罐及（jí）管路

需使用耐破壞材料，固體管路需運用半進行通明材料

28

質量確保

塗布完整過程中，有必要借助次序相（xiàng）對實時進行控製注液狀（zhuàng）況，以保證在塗布（bù）前端和後（hòu）端及塗布正式結束後，無法發生塗零頭滴液狀況

29

防塵和尾（wěi）廢

設備進行配置防塵罩及FFU加以過濾係統，外（wài）部清潔度確保在千級；進行配置三色（sè）燈及作為驅蟲劑排風口；機台具備防固體較為火鏡特點，防止紙料達到設備外部，造成損壞外部十分重要元機件

青海黃河中上遊電（diàn）流研發著名（míng）具（jù）體責任公司太陽能幹電池及（jí）機件研發開（kāi）展實驗室鈣（gài）鈦礦幹電池研發服務平台開展建設具體項目局部真空蒸（zhēng）鍍設備進行采購（gòu）具體項目
DNYZC-2025-1 1-26-029-04

投標適（shì）用範圍
（1）重點設備：進行采購局部（bù）真空蒸（zhēng）鍍設備1套，重點包含基片設置、作為澱積物係統、局部真空係統、膜厚實時監督係統、電動進行控製係統及水（shuǐ）冷係統等（děng），與此（cǐ）同時包括設備所一定要的（de）進行安（ān）裝備件及進行顧贍設備、隨便（biàn）文獻（xiàn）、技術文檔（包含（hán）進行操作表冊（cè）、采用講解員、檢修講解員或服務表冊（cè）），責任政府需要、進行安裝、進行調（diào）試、進行檢（jiǎn）查、驗光持續並提供認為的技術服務與質量確保、售後服務、技術開展培訓等。

（2）工藝品附件：掩膜版、鎢舟、鉬舟（zhōu）、石英坩堝、晶振（zhèn）片、CF35銅洗衣機、配合設備規格的密封圈等；
（3）特地工器械：拆除、進行安裝、收拾設備時特地的工器械1套（包括外六方扳子、內六方扳子、螺絲釘刀、扳子等裝備）。

較為條約訂約起作用後90趕明兒整批寄遞（包括附件及裝備）（詳細其（qí）次卷第六章（zhāng）供貨具體（tǐ）要求（qiú））

本具體（tǐ）項目坐落（luò）在陝西（xī）省西安長安太空（kōng）飛行生產基地東長安街589號

300

組成設備到，但對容（róng）裏麵。2.3重（chóng）點
2.3.1局部真空

的（de）任（rèn）意一種相關情況構件該設備（bèi）的安

完成配置及技術
蒸鍍設備主

、機件和設置在（zài）滿足相關條件時在本供貨適用範圍及具體工作具體內容（róng）全值得信（xìn）賴正常運轉是必（bì）備的，也應（yīng）包（bāo）含（hán）在供貨適用範圍

形式參數
要完成配置

中並未提出具體工作內

序號

使（shǐ）用性能參照具體稱謂（wèi）

技術具體要求

備考

1.1

局部真空鍍膜室

1.1.1

材料到整（zhěng）體結構

局部真空室使用304不鏽鋼，腔體（tǐ）內壁有關電解拋

1.4.1

作（zuò）為源

進行配置2組非金屬（shǔ）作為源和4組考古作（zuò）為源，可配合蒸鍍非（fēi）金（jīn）屬、考古及考古材（cái）料；源與源彼此（cǐ）之間（jiān）均配給避免穿插造成汙染的預防汙染板

1.4.2

非金屬作為電源（yuán）供應

進行配置（zhì）可計算機編程的直（zhí）流電流穩壓非金屬作為電源供應1套，非金屬作為電源供應權力≥1.5 KW及上述，萬丈升壓熱度（dù）可達1500℃，且借助脈動電流進行控（kòng）製方法，準確到0.1 A，並達成蒸（zhēng）鍍利率（lǜ）0.01Å/s的（de）精確程（chéng）度結果表明，可開展脈動電流、聚氯（lǜ）乙烯運行方式的（de）隨意

改稱和具備水冷進（jìn）行（háng）控製

1.4.3

考古作為電源供應

進行配置（zhì）考古作為電源供應1套；可借助脈動電流或PID智能化（huà）溫控方法開（kāi）展進行控製（使（shǐ）用脈動電流進行控製方法（fǎ）時需準確到0.1A，並達成蒸鍍利率0.01Å/s的精確程度（dù）結果表明，可開展脈動電流、聚氯乙烯運行方式的隨意改（gǎi）稱和具備水冷進行控製；使用PID智能化溫控方法時控溫精確程度±1℃）；

1.4.4

進行控製係統

使用（yòng）PLC+PC進行控製方法

1.4.5

更為安（ān）全（quán）維（wéi）護具體措施

缺吃少穿欠（qiàn）壓開展檢測與維護、相序開（kāi）展檢測與（yǔ）維護（hù）、熱度開（kāi）展檢測與（yǔ）維護（hù）、局部真空（kōng）係統開展檢測與維護。對（duì）泵、負極等缺吃少穿、過橫貫壓（yā）、斷路等（děng）不正常狀（zhuàng）況（kuàng）開展告警並（bìng）落實認為維護具體措施；使內容更加完整的次序互鎖，具有的（de）防誤進行操作（zuò）設計及維護。

1.5

膜厚檢測係統（tǒng）

1.5.1

膜厚儀

老鼻子於1組膜厚儀，老鼻子於2套膜厚開展檢測探測器

1.5.2

作（zuò）為（wéi）利率進行測量精確程度（dù）

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)

1.5.3

膜厚儀進行（háng）測量精確程度

膜厚儀進行測量精確程度優惠±0.01Å/s，若鍍膜實現進（jìn）行設置厚（hòu）薄，可自動化隔離電源供應，需要鍍膜且擋板好（hǎo）意思

1.5.4

熱度進行控製精確程度

±1℃（RT~700℃）

1.5.5

厚薄進行測量（liàng）精確程度

優（yōu）惠（huì）±1Å；具有（yǒu）與電源供應聯鎖具體功能

序號

標段具體稱謂

輩數兒具體（tǐ）要（yào）求及（jí）功績具體要求

1

青海黃河中上遊電流研發著名具體責（zé）任公司太陽能幹（gàn）電池及機件研發（fā）開展實驗室鈣鈦礦幹電池研發服（fú）務平台開展建設具體項目磁控濺射設備（bèi）進行采購具體項（xiàng）目
 

投標人輩數兒具體（tǐ）要求
投標人大體上輩數兒具體要求
（1）投標人具備進行（háng）相信簽訂較為（wéi）條約的輩數兒；
（2）投標人開展經營景象較好，具備較好的資信和金融信用（以“金融信用中國”網站網站進行調查加以為準,並未被進行參加重要（yào）進行違約（yuē）自治權名（míng）冊），並未正處在會進行引起中標後束手無策執行較為條約的被責成止（zhǐ）血進行關閉（bì）、財產權被共管、進（jìn）行結冰、失敗情（qíng）況；
（3）財務管（guǎn）理景（jǐng）象及資信
近關於三年財務管理和資信景象較好。並未財產權被共管、進行結冰或正處在（zài）失敗情況。應（yīng）給予銀行家作為的資信證（zhèng）明書（shū）、繳稅人輩數（shù）兒證明書。

（4）投標人近36個月內(含，自（zì）投標截至日起往前預算)不仍然存在持續騙（piàn）取中標、重要進行食言及（jí）因自己的具體責任而使任意一種相關情況較為條約被消除的情（qíng）況；
（5）機構責任政府人工相同人或是仍然存在控股（gǔ）公司、進行（háng）管理聯係的有所區別機構（gòu）不可在相（xiàng）同（tóng）標段投標；

特地輩數兒具體條件
資（zī）格條件具體要求
投標人一（yī）定要是在中中國人民共和國市場領域進行管理單位計數器的，具備進行相信保證人和通（tōng）常繳稅人輩（bèi）數兒的磁控濺射設備生產（chǎn）企業或辦事處企業。辦事處企業一定要給予磁控濺射設備生產（chǎn）企業作為的切實有效進行核準書（shū）。相同（tóng）貨色/產品（相同品牌名稱、相同型號）隻得有（yǒu）集團投標人，如為辦（bàn）事處商投標，其中一個製造商對相同品牌名稱、相同型號的貨色，僅能寄托其中一個辦事處（chù）商參與投標，不然與此相關投標均做較為空空采用相應辦法解決。

功績（jì）具體要（yào）求
投標人應具備近3年內（自投標截至日（rì）起往前預算，以需要驗（yàn）光時段加以為準）順利完成起（qǐ）碼（mǎ）3台及（jí）上述磁控濺射設（shè）備供貨較為條約功（gōng）績，在這當中起碼有1台切實有效進行加工幅麵更加不小於1.2m*0.6m供貨功績。【需給予較為條約打印件（包含（hán）較為條約首頁、進行聘書（shū）適用範圍、簽署頁）、需要證明書（需要驗光證明書或所有主作為的證（zhèng）明書文（wén）獻或其餘切實有效證明書材料）】

2

青海黃河（hé）中上遊電流（liú）研發著名（míng）具體責任公司太陽能幹電池及機件研發開展（zhǎn）實（shí）驗室鈣鈦礦幹電（diàn）池（chí）研（yán）發（fā）服務平（píng）台開展建設具體項目北約設備進行采（cǎi）購具體項目
 

投標人輩數兒具體要求
投（tóu）標人大體上輩數兒（ér）具體要求（qiú）
（1）投標人具備進行相信簽訂較為條約的輩數兒；
（2）投標人開展經營景象較好，具備較好的資信和金融信（xìn）用（以“金融信用中國”網站網站進行調查加以為準,並未（wèi）被進行參加重要（yào）進行違約自治權名（míng）冊），並未正處在（zài）會進行引起中標後束手無策執行較（jiào）為條約的被責成止血（xuè）進行關（guān）閉（bì）、財產權被共管、進行結（jié）冰、失敗情況；
（3）財（cái）務管（guǎn）理景象（xiàng）及（jí）資信
近關於三年財務管（guǎn）理和（hé）資信景象較好（hǎo）。並未（wèi）財產權被共管、進行結冰或正處在失敗情況。應給予（yǔ）行作為的資信證明書（shū）、繳稅人輩數兒證明書。

（4）投標人近36個月內(含，自投（tóu）標截至日起往前預算)不仍然存在持續騙取中標、重要進行食（shí）言及因自己的具體責任（rèn）而使任意一種相關情況（kuàng）較為條約被（bèi）消除的情況；
（5）機構責任政府人工相同人或（huò）是仍然存在控股公司、進行（háng）管理聯係的有所（suǒ）區別機構不可在相同標段投標；

特地輩數兒具（jù）體條件
資格（gé）條（tiáo）件具體要求
投標人一定（dìng）要是在中中國人民共和國市場領域進行管理單位計數器的，具備進行相信保證人和通常繳稅人輩數兒的北（běi）約設備生產企業或辦（bàn）事處企（qǐ）業。辦事處企業須給予（yǔ）北約設備生（shēng）產企（qǐ）業作為的切實有效進行核準書。相同（tóng）貨色/產品（相同品牌名稱、相同型（xíng）號）隻得有集（jí）團投標人。如為辦事處商投標，其中一個製造商對相同品牌名稱、相同型號的貨色，僅能寄托其中一個辦事處商（shāng）參（cān）與投標（biāo），不（bú）然與此相（xiàng）關投標均做較為空空采用相應辦法解決。

功績具體（tǐ）要求
投（tóu）標人應具備近3年內（自投標截至日起往前預算，以需要（yào）驗（yàn）光時段加以為準）順利完成起（qǐ）碼3台（tái）同（tóng）型號或好像技術規格的雙路或量產型北約塗抹清邊（biān）設備進行加工幅麵更加不小於1.2m*0.6m的（de）鈣鈦礦（kuàng）產資源線設（shè）備供（gòng）貨較為條約功（gōng）績（jì）。【需給予較（jiào）為條約打印件（包含（hán）較（jiào）為條約首頁、進行聘書適用範圍、簽署頁）、需要證明（míng）書（需要驗光證明書或所（suǒ）有主作為的證（zhèng）明書文獻或其餘切實有效證明書（shū）材料）】

3

青海黃河中上遊電流（liú）研（yán）發著名具（jù）體責（zé）任公司太陽能幹電池及機件研（yán）發開展實驗室鈣鈦礦幹電池研發服務平台開展（zhǎn）建設具體（tǐ）項目狹縫塗布及附（fù）庸國設備進行采購具體（tǐ）項目
 

投標人大體上輩數兒（ér）具體要求
（1）投標人具備進行相信簽（qiān）訂較為條（tiáo）約的輩數兒；
（2）投標人開展（zhǎn）經營景象較好，具備較好的資信和金融信用（以“金融信用中國”網站網站（zhàn）進行調查加以（yǐ）為（wéi）準（zhǔn），並（bìng）未被進行參加（jiā）重要進行（háng）違（wéi）約自治權名冊（cè）），並未正處（chù）在會進行引起中標後束（shù）手無策執行較為條約的被責成止血進行關閉、財產權被共（gòng）管、進行結冰、失敗情況；
（3）財務管（guǎn）理景象及資信（xìn）
近關於三年財務管理和資（zī）信景象較（jiào）好。並未（wèi）財產權被共管、進行結冰或正處在失敗情況。應給予銀行家作為的資信證明（míng）書、繳稅人輩數兒（ér）證（zhèng）明書。

（4）投（tóu）標人近36個月內(含，自（zì）投標（biāo）截至日起往（wǎng）前預算)不仍然存在（zài）持續騙取中標、重要進（jìn）行食（shí）言及因自己的具體責任而使任意一種（zhǒng）相關情況較為條約被消（xiāo）除（chú）的情況；
（5）機構責任政府人工相同人或是仍然存在控股公司（sī）、進行管理聯（lián）係的有所區別機構不可（kě）在相同（tóng）標段投標；

特地輩數兒具體條件
資格條件具體要求：投標人一定（dìng）要是在中中國人民共和國市場（chǎng）領域（yù）進行管理（lǐ）單位計數（shù）器的（de），具備進行（háng）相信保證人和通常繳稅人輩數兒的狹縫塗添設備生產（chǎn）企業或辦（bàn）事處企業。辦事處企業一定要給予狹縫塗（tú）添（tiān）設備生產企業作為的切實（shí）有效進行核準書。相同貨色/產品（相同品（pǐn）牌名稱、相（xiàng）同型號）隻得有集團投標人。如為辦事處商投標，其（qí）中（zhōng）一個製造商對相同品牌名稱、相（xiàng）同型號的貨色，僅能寄托（tuō）其中（zhōng）一（yī）個辦事處商參與投標，不（bú）然與此相（xiàng）關投標均做（zuò）較為空（kōng）空（kōng）采用相應辦法解決。

功績具體要求：投標人應具備近3年內（自投標截（jié）至日往前預（yù）算，已（yǐ）需要驗光時段加以（yǐ）為準）順利完成（chéng）起碼（mǎ）3台及上述，進行加工幅麵≥300 mm×300 mm的狹縫塗添設備在鈣鈦礦幹（gàn）電池準備範圍供貨（huò）功績，與此同時起碼有1台切實有效塗布幅麵更加不小於1.2 m×0.6 m的供貨功績。【需給予較（jiào）為（wéi）條約打印件（包含較為條約首頁、進（jìn）行聘（pìn）書適用範圍、簽（qiān）署頁）、需要證明書（需要驗光證明書或所有主作為的證明書文獻或其餘切實有（yǒu）效證明書材料）】。

4

青海黃河中上遊電流研發著（zhe）名具體責任（rèn）公司（sī）太陽能幹電（diàn）池及機件研發開展實驗室鈣鈦礦幹電池研發服務平台（tái）開展建設（shè）具體項目局部真空蒸（zhēng）鍍設備進行采購具體項目
 

投標人輩（bèi）數兒具體要（yào）求
投標人大體上輩數兒具體要求
（1）投標人具備（bèi）進行相信簽訂較為條約的輩數兒；
（2）投標（biāo）人開展經營景（jǐng）象較好，具備較好的資信和（hé）金融信用（以“金融信用中（zhōng）國”網（wǎng）站網站進行調查加以（yǐ）為準,並未被進行參加重要進行違（wéi）約自治權名冊），並未正（zhèng）處（chù）在會進行引起中標後束（shù）手無策執行較為條約（yuē）的被責成止血（xuè）進行關閉、財產權被（bèi）共管、進行結冰、失敗情況；
（3）財務管理景象及資（zī）信
近關於三年（nián）財務管理和資信景象較好。並未財產權被共管、進行結（jié）冰（bīng）或正處在失敗（bài）情況。應給予銀行家作為的資信證明書、繳稅人輩數兒證明書。

（4）投標人（rén）近36個月內(含，自投標截至日起往前預算)不仍然存在持（chí）續（xù）騙取中標、重要進行食言及因自己的具體責任而（ér）使任意一種相（xiàng）關情況較為條約被（bèi）消除的（de）情（qíng）況；
（5）機構責任政府人工相同人或是仍（réng）然存在控股公（gōng）司、進行（háng）管（guǎn）理聯係的有所區別機構不可在相同標段投標；

特地輩數兒具體條件
資格條件具體要求
投標人（rén）一定要是在中中國人民（mín）共和國市場領域進行（háng）管理單位計數器的，具備進行相信保證人和通常（cháng）繳稅人輩數兒（ér）的局部真空蒸鍍設備生產企業或（huò）辦事處企業。辦（bàn）事處企業一定要（yào）給予局部真空蒸鍍（dù）設備生產企業（yè）作為的切實有效進行核（hé）準書（shū）。相同（tóng）貨色/產品（相同（tóng）品牌名稱、相同型（xíng）號）隻得有集團（tuán）投（tóu）標人。如為辦事處商投標，其中一個製造（zào）商對相（xiàng）同品牌名（míng）稱、相同型（xíng）號的貨色，僅能寄（jì）托其中一個辦（bàn）事處（chù）商參與投標，不然與此相關投標（biāo）均做較為空空采用相（xiàng）應辦（bàn）法解決。

功績具體要求
投標人應具備近3年內（自投標截至（zhì）日起往前預算，以需要驗光時段加以為準）順利完成起碼3台（tái）及上述差不離（lí）型和具體（tǐ）功能的切實有效進行（háng）加工幅麵更加不小於30mm*30mm蒸鍍設備供貨功績。【需給予較為條約打印（yìn）件（包含較為條約首頁、進行聘書（shū）適用（yòng）範圍、簽署頁）、需要證明書（shū）（需要驗光證明書或所有主（zhǔ）作為的（de）證明書（shū）文獻或其餘切實有效證明書材料）】