投標通知書
1. 投標具體條件
本投標具體(tǐ)項目(mù)DUV提供配套支持塗膠衝突機 關於該項目(mù)已具有投標具(jù)體(tǐ)條件,現對DUV提供配套支(zhī)持塗膠衝突機開展中國大陸著名投標。2. 具體項目大概(gài)與投標適(shì)用範圍
2.1 投標號碼:ZKX20260424A020 2.2 投標具體(tǐ)項(xiàng)目具體(tǐ)稱謂:DUV提(tí)供配套支持塗膠衝突機。 2.3數額: 1套 2.4 重點具體內容:DUV提供配(pèi)套支持(chí)塗膠衝突秘密求為(wéi)國貨嶄新設備,可用於6英尺InP基InGaAs APD焦革命檢測(cè)器光刻生產工藝,為(wéi)DUV光刻機的提供配(pèi)套支(zhī)持前道生產工藝設備,可用於順(shùn)利完成光刻曝光前的晶圓增粘采用相應辦法解決(HMDS)、光刻膠(jiāo)旋塗(Coat)、軟烘(hōng)(SOB)、曝光後清蒸(PEB)、衝突(Develop)、堅膜(mó)清蒸(Hard Bake)及(jí)比賽(Chill)等全操作流程(chéng)生產工藝。設(shè)備須(xū)給予支持 Cassette-to-Cassette 全自動化正常運轉,可解決(jué)厚薄(báo)200-1000μm,躬身行禮度±100μm的晶圓,並與ASML光刻機PAS5500 350C型光刻機達成聯機工作(Inline),保證光刻(kè)膠圖片的高精確程度轉到。混凝土具體要求詳細投標文獻第六章供貨具體要求。 2.5 寄(jì)遞 2.6 寄遞期:較為條約起作用後150天(tiān)內。3. 投標人輩數兒(ér)具體要求
3.1 有法可依進行設置的證明書:投(tóu)標人須(xū)具備進行相信負責人民的事(shì)具體責(zé)任實際能力的在中中(zhōng)國人民共和邊界內計(jì)數器的保(bǎo)證人或其餘安(ān)排,具有切實有效的運營授權或相關(guān)事業機構保證人(rén)證明書或(huò)其他運營計數器證明書。 3.2 功績具體要求:投標人(rén)須給予2023年1月1日時至(zhì)今日已訂約的此次投標同型號或同多個係列的設備營銷業績≥5台,須給予設備進行采購較為條約打(dǎ)印件(較為條約(yuē)乙方加以應為投(tóu)標人),較為條約具體內容須反映較為條約目的物物、數額、訂約日(rì)子、甲乙(yǐ)雙邊(biān)簽署(shǔ)或蓋章頁、設備型(xíng)號等能體現功績具(jù)體要求的重點具體內容,未按以上具體要求給(gěi)予的功績證明書進行不加認(rèn)同。 3.3 其他具體(tǐ)要求:投標人須給予ASML光刻機(jī)Inline模塊文件通訊搭接片的進行(háng)核準文(wén)獻。 3.4本具體項目不進行接管辦事處商(shāng)投標。 3.5此次投標不進行接管統一體投標。 3.6投(tóu)標人一(yī)定要向投標辦事處單位4.
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修改:365trade
