非金屬膜及電介質膜幹法(fǎ)刻蝕係統-著名投標通知書

   2025-11-07
關鍵部分(fèn)提醒:非金屬膜及電介質膜幹法刻蝕係統具體項目已具有投標(biāo)具體條件。投標
非(fēi)金屬膜及電介質膜幹法刻蝕係(xì)統具體項目已(yǐ)具有投標具體條件。投標具體項目資(zī)本已按照要(yào)求具(jù)體執行。中科信工程提供谘詢(北京) (投標(biāo)辦事處單位)受中國航空運輸工業領域集團公司(sī)公司西安(ān)飛翔自動化進行控製深入研究所(投標人)的寄托(tuō),對關於該項目開展全球範圍(wéi)著名投標進行采購。

1. 投標適用範圍

1.1 貨色具體稱謂:非金屬膜及電介質膜幹法(fǎ)刻蝕係統

1.2 投標(biāo)號碼:0779-25400341A051

1.3具體項(xiàng)目大(dà)概:

此次非金(jīn)屬及電介(jiè)質膜幹法刻蝕係統設備投標進行采購旨采符合科學方法生(shēng)產(chǎn)實際需要,其包括全自動化整體影響離子化刻蝕機1台和非金屬膜幹法刻蝕機1台,在這(zhè)當中全自動化整體影(yǐng)響(xiǎng)離子化(huà)刻蝕機包括SiO2生產工藝腔和LN生產工藝(yì)腔各1個,非金屬膜幹法刻蝕機包括非金屬生產工藝腔1個、去膠生產工藝腔1個。數量更多(duō)參照(zhào)詳細關於第八章(zhāng)技術規(guī)格。

非金屬及(jí)電介(jiè)質膜幹法刻蝕係統重點技術參照如(rú)下:

  • SiO2生(shēng)產工藝腔:刻(kè)蝕利率≥200nm/min(SiO2);挑選比≥1.5(SiO2:PR);側壁軌道傾角≥80°(具(jù)體要求PR側壁軌(guǐ)道傾角≥80°);片內平均性≤3%;深寬比≥3:1(SiO2,2um線寬);
  • LN生產工藝(yì)腔:刻蝕利率≥50nm/min;挑選比≥0.5(LN:PR);側(cè)壁軌道傾角≥75°(具體要求PR側壁軌道傾(qīng)角≥80°);片內平均性≤5%;
  • 非金屬生(shēng)產工藝腔:刻蝕利率≥400nm/min(Al);挑選比≥2(Al:PR);側壁軌道傾角≥80°;片內平均性≤5%;
  • 去膠腔:去膠利率≥500nm/min;片內平均性≤10%;片間平均性≤3%;
  • 1.4 數(shù)額:1套。

    1.5 寄遞期:較為條約訂約後8個月內到會。

    1.6 具體項目工(gōng)作現場:中國航(háng)空運輸工業領域集(jí)團公司公司西(xī)安飛翔自動化進行(háng)控製深入研究有關所指定所(suǒ)在地。

    2. 對投標人的輩(bèi)數兒具體要求

    2.1 投標(biāo)人一定要是作(zuò)出響應投標的保證人(rén)或其餘安排,具(jù)備進行相信負責人民的事具體責任實際能力。

    2.2此次投標進行(háng)接管辦事處(chù)商投標,辦事處商一定要(yào)取得製造商的法定進行核準,給予製造商進行核準書。進行核準書袋括製造商直來直去持續開具的;或製造商的加以獨資公司持續開(kāi)具的(de)(與(yǔ)此同(tóng)時(shí)須給予製造商與加以獨資子公司的聯係作出(chū)說明,並(bìng)由雙邊(biān)簽署或是蓋章)。

    2.3本具體(tǐ)項目不(bú)進行(háng)接管統一(yī)體投標。

    2.4投標人一定要向投標辦事處單位

    3. 投標文獻得到

    3.1 如有懷疑,請發電中航工業領域 服務熱線電話(huà)400-890-0880。

    3.2 投標文獻零售(shòu)價普通人幣800元或112美金,售後頭寸進行不加需要。秘密投標人應借助本有關鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888進行繳納投標文(wén)獻花消,進行(háng)繳納後請自動正式提交價電子發(fā)單提出申(shēn)請(qǐng)(需再一次參(cān)加有關鏈(liàn)接鍵擊進行花費進行記錄後填空開票相(xiàng)關信(xìn)息),價電(diàn)子發單將自動化發 秘密投標人將進行蠲免證(zhèng)據(方式不限)和發(fā)單持(chí)續(xù)上傳(chuán)貿易服務(wù)平台,經投標(biāo)人(辦事處單位)予以確認(rèn)後,管理取得投標文獻的載入權力。

    3.3 投標人一(yī)定要在中航工(gōng)業領域 計數器,操辦CA數值證明書與價電子簽章,不然束手無策投標。(詳細中航工業領域 與此相關作出說明)。

    4.

    未在中國(guó)核動力投標進(jìn)行采購網(www.zhuliyuan.com.cn)上計數器社員的機(jī)構應先鍵擊計數器。計數器取得成功後的在投標(biāo)社員(yuán)區依據投標通知(zhī)書的(de)認為作出說明得到投標文獻(xiàn)!
    提供谘詢電話:010-51957458
    手 機:18811547188
    取得聯(lián)係人:李楊
    QQ:1211306049
    微信:Li18811547188
    郵(yóu)箱:1211306049@qq.com
    策源地:中國核動力投標進行采購(gòu)網
    備考:欲選購投(tóu)標文獻的秘密投標人,計數器網站並進行薪資因特網技術服務費後,檢查具體項目所有主(zhǔ),投標通知書並載入輩數兒原審適用(yòng)範圍,資(zī)格條件具體要求,投標列表索引,申請提出申請表等。為確保您可以較為順(shùn)當投標,混凝土具體要求(qiú)及選購標書(shū)進行操作操作流程按社員區投標(biāo)相(xiàng)關信息更加具(jù)體具體內容加以為(wéi)準,以投標所有主的答道加以為準本。
    修(xiū)改:365trade

     

     

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