青（qīng）海（hǎi）黃河中上遊電流研（yán）發（fā）著名具體責任公司太陽能幹電池及機件研發開（kāi）展實驗室鈣鈦（tài）礦幹電池研發服（fú）務平台開展建設具體項目磁控濺射設備進行采購具體項目投標通知書

序號

標段具體稱謂

投（tóu）標適用範圍

過渡具體要求

寄遞所在地

相關信息服務費（元）

青海黃河中上遊電流（liú）研發著（zhe）名具體責任公司太陽能幹電（diàn）池及機件研發開展（zhǎn）實（shí）驗室鈣（gài）鈦礦幹電池研發（fā）服（fú）務平台（tái）開展建設具體（tǐ）項目磁控濺射設備進行采購具體（tǐ）項目
DNYZC-2025-1 1-26-029-01

投標範（1）主統、真備所必采用指持續（xù）並（bìng）提供（2）備配合（hé）設（3）專方扳子組成（chéng）設到，但容裏（lǐ）麵2.3主
2.3.1真

圍
要設備：進行采購空係（xì）統、膜厚須的進行安裝備件南、檢（jiǎn）修（xiū）講解員認為的技術服（fú）品附件：掩膜備規格的密封用工（gōng）器械：拆、內六方扳子備的（de）任意一種相關情況構件對該（gāi）設備（bèi）的安。

要完成配置（zhì）及技術
空蒸鍍設備主

局部（bù）真空蒸鍍設備1套（tào），重（chóng）點包含基片設置、作為實時監督係統、電動進行控（kòng）製係統及水冷係統等，與此同時及進行顧贍設備、隨便文獻、技術文檔（包含（hán）進行操作或服務表冊），責任政府需要、進行安裝、進（jìn）行調試、進行檢（jiǎn）查務與質（zhì）量確保、售後服務、技術（shù）開展培訓等。

版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝（guō）、晶振片、CF35圈等；
卸、進行安裝、收拾設備時特地的工器械1套（包、螺（luó）絲釘刀、扳子等裝備（bèi））。

、機件和設置在滿足相關條件時在本供貨適用範圍及具體工作具體內容中全（quán）值得信賴正（zhèng）常運轉是必（bì）備的，也應包含在供貨適用範（fàn）圍及

形（xíng）式參數
要完成配置

發澱積物係包括設表冊、、驗光

銅洗衣機、

包括外六

並未提具體工作內

較（jiào）為（wéi）條約訂約起作用後
120趕明兒整批寄遞（包括附件及裝備）（詳細其次卷第六章供貨具體要（yào）求）

本具體項目坐落在（zài）陝西省西安長安太空飛行生產（chǎn）基地東（dōng）長安街589號

300

序號

使用性能參照具體稱謂

技術具體要求

備（bèi）考

1.1

局部真空鍍膜室（shì）

1.1.1

材料到整體結（jié）構

局（jú）部真空室使（shǐ）用304不鏽鋼，腔體內（nèi）壁有關電解投擲

1.2.2

積極分子（zǐ）泵

抽氣（qì）利率更加不小於3000 L/s

1.2.3

機械泵

抽氣利率更加不小於25 m3/h

1.2.4

局部真空進行測量時段

空氣環境（jìng）萬級清潔間空氣下從常壓抽至≤5×10-4 pa時段≤30 min；

1.2.4

較為範圍局部真（zhēn）空（kōng）進行測（cè）量

進行測量（liàng）適用範圍從1×105Pa到5.0×10-5 Pa

1.2.4

局部真空密封（fēng）

使（shǐ）用非金（jīn）屬密封和氟（fú）橡皮圈密封（fēng）

1.3

作為（wéi）室基片設（shè）置（zhì）

1.3.1

基片材料

導（dǎo）熱安全玻璃

1.3.2

工藝品度量衡

400 mm×400 mm的工藝品且可進行絨毛配合數（shù）量更多度量衡

1.3.3

基片進行盤子

借助發（fā）電機革命0~30 rpm持（chí）續可調（diào）

1.4

作為源和作為電源供應

1.4.1

作為源

進行配置（zhì）2組非（fēi）金屬（shǔ）作為（wéi）源和4組考古作為源，可配合蒸鍍非（fēi）金屬、考古及考古材料；源與源彼此之間均配給避免穿插造成汙染的預（yù）防汙染板

1.4.2

非金屬（shǔ）作為電源供應

進行（háng）配（pèi）置可計算機編程的直流電流（liú）穩壓非金（jīn）屬作為電源供（gòng）應1套，非金屬作為電源供應權力≥1.5 KW及上述，萬丈升壓熱度可達1500℃，且借助脈動電流進行控（kòng）製方法，準確到0.1 A，並（bìng）達成蒸（zhēng）鍍利率0.01Å/s的精確程度結果表明，可開展脈動電流、聚氯乙烯運行方式的隨意（yì）

改稱（chēng）和具備水冷（lěng）進行控製

1.4.3

考（kǎo）古作（zuò）為電源供應

進行配（pèi）置（zhì）考古作為電源供應1套；可借助脈動電流或PID智能化溫控方法開（kāi）展（zhǎn）進行控製（使（shǐ）用脈動電流進行控製（zhì）方法（fǎ）時需準確到0.1A，並達成蒸鍍利率0.01Å/s的精確程度結果表明，可開（kāi）展（zhǎn）脈動電流（liú）、聚氯乙烯運行方式的隨意改稱和具備水冷進行控製；使用PID智能化溫控方法（fǎ）時控溫精確程度±1℃）；

1.4.4

進行控製係統

使用PLC+PC進行控製方法（fǎ）

1.4.5

更為安全維護具體措施

缺吃少穿欠壓開展檢測（cè）與維護、相序開展檢測與維護、熱度（dù）開展檢測與維護（hù）、局部真空係統開展檢測與維護（hù）。對泵、負極等缺吃少穿、過橫貫壓、斷路等不正常狀況開展告警並落實認為維護具體措施；使內容更加完整的次序互鎖，具有的防（fáng）誤進（jìn）行操作設計及維護。

1.5

膜厚檢（jiǎn）測係統

1.5.1

膜厚儀

老鼻子於1組膜厚儀，老鼻子於2套膜厚開展檢測探測器

1.5.2

作為利（lì）率進行（háng）測（cè）量精確程度

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)

1.5.3

膜厚儀進行測（cè）量精確程度

膜厚儀進行測量精確程度優惠±0.01Å/s，若鍍膜實現（xiàn）進行設置厚薄，可自動化（huà）隔離電源（yuán）供應，需要鍍膜且擋板好意思

1.5.4

熱度進行控製（zhì）精（jīng）確（què）程度

±1℃（RT~700℃）

1.5.5

厚薄進行（háng）測量精確程度

優惠±1Å；具有與電源供應聯鎖具體功能（néng）

1.5.6

片有關內膜厚石灰石勻性

≤5.0%（工藝品度（dù）量衡400 mm×400 mm，且（qiě）在20 nm~100 nm適用範（fàn）圍內的地膜材料：包含但不禁止金（jīn）、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由投標方進行（háng）指派材（cái）料開展核驗），進行測試辦法：地（dì）膜（mó）切實有效（xiào）區適用範圍內3×3進（jìn）行陳列9點進行測（cè）量：石灰石勻性=（膜厚更加最大值-膜厚短小值）/（膜厚更加最大值+膜厚短小值）*100%

1.5.7

片間膜厚石灰石勻性

≤5.0%（工藝品度量衡（héng）400 mm×400 mm，且在（zài）20 nm~100 nm適用範（fàn）圍內的地膜材料：包含但不禁（jìn）止金、銀、銅、鋁、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由投標方進行指派材料開展核驗），進行測試辦法：地膜切實有（yǒu）效區適用（yòng）範圍內3×3進行陳列9點進（jìn）行測量：石灰石勻性=（膜厚更加（jiā）最大值-膜厚（hòu）短小值）/（膜厚更加（jiā）最大值+膜厚短小值）*100%。

青海黃河中上遊電流（liú）研發著名具體責任（rèn）公司太陽能幹電池及機件研發開（kāi）展實驗室（shì）鈣鈦礦幹電池研發服務平台開展建設具（jù）體項目北約設備進行采購具體項目（mù）
DNYZC-2025-1 1-26-029-02

1.6

自動化（huà）鍍膜係統

進（jìn）行開始後依據（jù）使用者進（jìn）行設置的起伏溫暖作為利率形（xíng）式參數，自動化升壓受到作為材料，依照編製利率蒸鍍，達到進行設立厚薄後自動化好意思（sī）擋板，並衝淡（dàn）

寄遞期：較為條約訂約起作用後（hòu）90趕明兒整批寄遞（包括附件及裝備）（詳細其次卷（juàn）第六章供貨（huò）具體要（yào）求

本具（jù）體項目坐落在陝西省西安長安（ān）太空飛行生產基地東長安街589號

300

1.7

水冷（lěng）係統

1.7.1

涼（liáng）水（shuǐ）機

控溫適用範圍：5℃~30℃

1.8

生產（chǎn）工藝給予支持

投標人給予C60和BCP進行進（jìn）行鈣鈦礦機件價電子透明度層的蒸鍍生產工藝，確（què）保投標方在其餘地（dì）膜層準備具體條件進行穩定時使用該生產工藝（yì）準備（bèi）價電子透（tòu）明（míng）度層的鈣鈦礦太陽能幹電池使（shǐ）用性能不不可企及投（tóu）標方采用（yòng）旋塗法（fǎ）紀備PCBM和BCP進行進行價（jià）電子透明度層的使用性能。

投標
（1）采的除塵備、隨冊)，負證（zhèng）、售（2）
（3）
（4）構（gòu）有提出作具體（tǐ）內容2.3主
2.3.1雙

適用範圍
購1台雙路器、水冷機機（jī）文獻、技責需要、安後服務、技特地工器械：易耗件：水冷成設備的任，但對該設裏麵。

要完成配置及技術路北約塗抹

激、
術
裝術

何備

清

光塗抹清邊（biān）設（shè）備（bèi），包含雙路北約塗抹金相顯微鏡模（mó）塊文件還有設備所一定要的（de）安材料(包含（hán）進行操作表冊、采用講解員、檢修、進行調試、進行檢查、驗光（guāng）持續並提供認為的技開展培訓等。

北約權力進行測試儀、絕緣體進行測試儀、萬用表機濾芯、除塵濾芯
構件、機件和設置（zhì）在滿足相關條件時在本供貨適用範圍的安全且可靠正常運轉（zhuǎn）是必備的，也應包含

形式參數：
邊設備重點完成配置

清（qīng）邊設
裝備件及講解員或
術服務與

。

及具體工作（zuò）外在供貨範（fàn）

備、提供配套支持進行顧贍設服務手
與質量保

具體內容中（zhōng）沒圍及工

序
號

使用性能參照具體稱謂

具體要求形（xíng）式參數（shù）值

備（bèi）

注

裏外裏具（jù）體要求（qiú）

/

1.1

進（jìn）行加工（gōng）幅麵

50 mm*50 mm～400 mm*400 mm，可依據片（piàn）源大大小（xiǎo）小開（kāi）展調（diào）整

1.2

可進行加工基材厚薄

0～40mm，應（yīng）用軟件中參加基材厚薄後，設備自（zì）動化進行焦點

1.3

自治權整體結構

銲接鋼整體結構+有（yǒu）關大理石根據，整機設（shè）備外光路使用全密封設計並完成配置查看河口（kǒu），防止（zhǐ）散射人眼

納秒紅外北約係統（tǒng）

/

2.1

北約種類

1064 nm納秒紅外；

2.2

北約器權力

100W，應用軟件內可進行設置

2.3

北約器權力盛衰興廢保（bǎo）持穩定性

＜5%RMS

2.4

北約器持續可調效（xiào）率適用範圍

不不可（kě）企及（1～1000）kHz

2.5

北（běi）約器（qì）脈寬（kuān）適用範圍

更加不小（xiǎo）於20 ns～200 ns，應（yīng）用軟件內可進行設（shè）置

2.6

光球質量（liàng）M2

≤1.5

2.7

短小塗抹幅度

20um～30um

2.8

短小塗（tú）抹間隔

20um～30um

2.9

熱產生相應作用區

單側≤5um

2.10

清（qīng）邊幅度

≥10mm

2.11

清邊時段

<11min（邊長（zhǎng）400mm，幅度10mm）

2.12

絕緣體阻力

塗抹後>2MΩ、清邊後>100MΩ

2.13

光斑整形

完（wán）成配置可用於本設備紅外北約係統易拆除（chú）電子光學備件，具有將圓圈光斑整形為四方形光斑及將高斯光斑整逐漸形成平屋頂光斑的具體功能（néng）

皮秒紫外北約係統（tǒng）

/

3.1

北（běi）約種類

355 nm皮秒紫外

3.2

北約器權力

≥15W，應（yīng）用軟件內可進行設置

3.3

北約器權力盛衰興廢保持穩定性（xìng）

＜3%RMS

3.4

北約器持續可調效率適用範圍

不不可企及（1～1000）kHz

3.5

北約器脈寬

＜15ps

3.6

光球質量M2

＜1.3

3.7

短小塗抹幅度

20um～30um

3.8

短小塗抹間（jiān）隔

20um～30um

3.9

熱產生相應作用區

單側≤10um

3.10

光斑（bān）整（zhěng）形

完成配置可用於本設備紫外北約係統易拆除電子光學備件，具有將圓圈光斑整形為四方形光（guāng）斑及將高斯光斑整逐漸形成平屋頂光斑（bān）的具體功能

進行加工服（fú）務平台（tái）

/

4.1

發電機完成配置（zhì）

X軸及Y軸（zhóu）使用母線發電機需（xū）要，關於兩路北約器各自具備（bèi）僅僅的Z軸需要（yào）係統

4.2

服務平台度量衡

可進行加工更加最（zuì）大400 mm×400 mm度量衡（héng）基材，較為正常（cháng）方法為（wéi）局部真空吸煙，桌麵兒上使（shǐ）用非鋁鋁合金耐恒（héng）溫材（cái）料

4.3

XY軸固定精確程度

≤±3μm

4.4

XY軸荷複固定精確程度

≤±3μm

4.5

XY軸更加最大活（huó）動運行速度（dù）

≥1000mm/s

4.6

Z軸精（jīng）確程度

≤±5μm

4.7

塗抹平行線度

≤±10μm/m

4.8

軌道修改

劃刻道路可應用軟件內（nèi）修（xiū）改、能夠使用（yòng）CAD文獻導（dǎo）出、可進行設置某（mǒu）段道路北約的電（diàn）門，能儲存20個上述生產工藝具體方案

例如固定係統

/

5.1

CCD像素

≥500萬

5.2

CCD固定（dìng）精確程度

≤±2µm

抽（chōu）塵機（jī）

/

6.1

總具體要求

北約進行加工完整過程中（zhōng）同時進行吸塵（chén）

6.2

除塵實際效果

配給（gěi）多（duō）級加以過濾係統，除塵工作效率≥99.9%（0.1～1μm灰土細顆粒物）

6.3

膻氣

可直來直去過渡廠（chǎng）務（wù）熱排風係統

/

5孔目的物天橋，目的物公倍數為5X、10X、20X、50X、100X，眼睛鏡公倍數10X，瞳距持續可調

7.2載物台

度量衡更加不小於150 mm×120 mm，活動適用範（fàn）圍更加不小於70mm×50 mm，分外（wài）進行配置貨架以確保大度量衡鑄（zhù）件踏踏實實進行置放（fàng）

3

青海黃河（hé）中上遊電流研發著名具（jù）體（tǐ）責任公司太陽能幹電池及機件（jiàn）研發開展實驗室鈣鈦礦幹電（diàn）池研發服（fú）務平台開展建設具體項目狹縫塗布及附（fù）庸國設備進行采購具體項目
DNYZC-2025-1 1-26-029-03

投標適用範圍
（1）重點設備：狹縫塗添設備1台
附庸國設備：局（jú）部真空製晶設備1台、退學設備（bèi）1台。

工藝品附件：支氣管、液（yè）管、管路搭接片、安（ān）全玻璃供液罐、華司。

特（tè）地裝備：電力扳子、米（mǐ）千克秒內（nèi）關於六角扳（bān）子、有關大理石平（píng）尺、矽片取放料裝備、油石。

（2）隨便（biàn）文獻、技術文檔（包含進行操作（zuò）表冊、采用講解員、檢（jiǎn）修講解員或服務表冊），責任政府設計、製造、進行試驗（包含工場進行試驗、出廠進行試驗、完成（chéng）交接進行試驗）、供貨、產品包裝、需要、工作現場進行安裝、進行調（diào）試及試正常運轉，持續並提供認（rèn）為的技術服務與質量確保、售後服務、技（jì）術開展（zhǎn）培訓等。

（3）組成設備（bèi）的任意一種（zhǒng）相關情況構件、機件（jiàn）和（hé）設置在滿足相（xiàng）關條件時在本供貨適用範圍及具體工作具體內容中並未提出（chū），但（dàn）對該（gāi）設備的安全且（qiě）可（kě）靠正常（cháng）運轉（zhuǎn）是必備的（de），也應（yīng）包含在供貨適用（yòng）範圍及具體工作具體內容裏麵。

較為條約訂約後4個月內順利完成設備到會，並在關於兩周內順利完（wán）成設備的進行調試（shì）。

本具體（tǐ）項目坐落在陝西（xī）省西安長安太空飛行生產基地東（dōng）長安街589號

300

2.3主2.3.1

要（yào）完成配置及技術參狹（xiá）縫塗添設備技

形式參數：
術形式參數

序
號（hào）

使用性能參照具體稱謂（wèi）

具體要求形式參數（shù）值

1

可以使用（yòng）基材（cái）

進行通明導熱安全（quán）玻璃、矽片（piàn）等（děng）基（jī）材

2

可以使用基材度量衡

安全玻璃≥400 mm×400 mm，矽片（piàn）≥166 mm×166 mm

3

漆膜表麵積

安全玻璃切實（shí）有效漆膜表麵積≥380×380 mm，矽片需滿塗

4

固（gù）容量

5-75%

5

可以使用基材厚薄

安全玻璃：1.1~3.5 mm
矽片：0.1~0.3 mm

6

塗布厚薄

0.1-10μm（幹膜）

7

塗（tú）布運行速度

0-100 mm/s，運行速度（dù）持續可調，運（yùn）行速度精確程度（dù）0.1 mm/s

8

塗布方法

狹縫塗布

9

地膜平均性

片內地膜石灰（huī）石度≤5%（使用9點進行測試法，上述、下、左、右、中心9點為進（jìn）行測量審美（měi）觀，進行計算方法為Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin)，U為膜厚），片（piàn）間地膜石（shí）灰石（shí）

Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin)，U為膜厚），安全玻璃反（fǎn）麵無造成（chéng）汙染。（設備接連不斷具體工（gōng）作10個具體工作（zuò）日均符合）

10

可以使用（yòng）驅（qū）蟲劑體係

醫（yī）道、油性、考古驅蟲劑等驅蟲劑型油漆

11

設備進行配置雙龍門

有關每（měi）套龍門（mén）各配大會模頭、大會供液係統

12

塗（tú）矽片

設（shè）備（bèi）可借助進行替換“吸煙服務平台、模頭”等機（jī）件的方法，改稱為塗覆矽（guī）片的設備。所需的（de）吸煙服務平台及模頭由製造廠配齊（qí）

13

矽片取放

設備進行配置頂升設置，更加方便取放矽片

14

預塗具體功能

設備進行（háng）配置預塗地（dì）理區域（yù）或預塗輥

15

活動係統

確保龍門或吸煙服務平台的踏踏（tà）實實活動，調平後亦指刀身與服務平（píng）台的比較而言平行線度＜20μm

16

塗布模頭

使用半流體仿真器設計塗布模頭，亦指刀身母線度（R）≤3μm，惡劣度Ra≤0.025；唇口母線（xiàn）度（R）≤3μm，給予老三方更為專業開展（zhǎn）檢測曉以大義（yì）

17

模頭數額完成配置

塗（tú）安全玻璃模頭進行配置2個，塗矽片模頭（tóu）進行配（pèi）置1個

18

塗布模頭材料

不鏽鋼鋁合金，具備較好的耐破壞使（shǐ）用性能，可拆除進行除去，防突變（biàn）

19

模頭起伏

模頭起伏使用高精確程度伺服機構發電（diàn）機方法需要；可自動化作出調整唇口與被塗基材的暇時。漆膜較高程度依基板（bǎn）厚薄自（zì）動化調整，可手動進行設置補充具體功（gōng）能。身邊人側方可自（zì）動化調平（調整模頭唇口與被塗基板的平行線度），自動化調平（píng）後，狹縫（féng）模頭整體水平校正錯誤精確程度（dù）≤±2μm

20

華（huá）司厚薄

0.05/0.08/0.1 mm

21

具體功（gōng）能模塊文件（jiàn）

塗（tú）布模頭具備防撞、迅速充液（yè）和排泡具體功能（迅速充液和排泡具體功（gōng）能符合對供液泵（bèng）、模頭及管路（lù）開展充液（yè）和排泡。從空模頭、空紙料罐情況到可（kě）開展漆膜情況彼此之間距（jù）離不可進（jìn）行進步10 min）

22

基台及材料

整機攜有有關大理石承運進行阻尼基向量（liàng）服務平（píng）台

23

基材測距

老是漆膜前，可自動化開展檢測現階段基（jī）板較（jiào）高程度（厚薄），相同片基（jī）板較（jiào）高程度（厚薄）開展檢測錯誤≤3μm

24

注液泵

注（zhù）液泵應能保（bǎo）障紙（zhǐ）料抽出平均接連不斷，保證漆膜保（bǎo）持一致性，其（qí）運行速（sù）度精確程度優惠0.1μl/s；供液運行速度在1-500μl/s，運行速度持續可調；具有自動化（huà）補液、補液後自動化泄壓及回吸具體功（gōng）能

25

自動化進行除去模塊文件

設備具有自動化進行除去（qù）模頭具體功能，自動化進行除（chú）去（qù）後，一定要確保無藥液留下，管路及型腔外部無較為清楚（chǔ）固體匯聚要樣（yàng）兒；進行設置模頭（tóu）進行除去（qù）地理區域（yù），進行配置壓刀槽和排液槽，協同配合以上自（zì）動化進行除去具（jù）體功能和迅速充液、排泡具體功能

26

吸（xī）煙服務平台（tái）

要樣兒平坦度≤±5μm，服務平台（tái）統一局部真空吸煙係統，大大小小持續可調

27

儲液罐及管路

需使用耐破壞材料，固體管路需運用半進行通明材料

28

質量確保

塗布完整過程中，有必要借助次序相對實時進行控製注液狀況（kuàng），以保證在塗布（bù）前端和後端（duān）及塗布正式結束後，無（wú）法發生塗零（líng）頭滴液狀況

29

防（fáng）塵和尾廢

設備進行配置防塵罩及FFU加以過濾係統，外部清潔度確保在千級；進行（háng）配置三色（sè）燈及作為驅蟲劑排風（fēng）口；機台具備防固體較為火鏡特點，防止紙料（liào）達到設備外部，造（zào）成損壞外部十分重要元機件

青海黃河（hé）中上遊電流研發著名具（jù）體責任公司太陽能幹電池（chí）及機件（jiàn）研發開展實驗室鈣鈦礦幹電池研發服務平台開展建設具體項目局部真空（kōng）蒸鍍設備進行采購具體項目（mù）
DNYZC-2025-1 1-26-029-04

投標適用範圍
（1）重點設備：進行采購局部（bù）真空蒸鍍設備1套，重點包含基片設置、作為澱積物係統、局部真空係統、膜厚實時監督係統、電動進行控製係統及水冷係統等，與此同時包括設（shè）備所一定（dìng）要的進行安裝備件及進行顧贍設備、隨便文（wén）獻、技術文檔（包含進行操作表冊、采用講解（jiě）員、檢修講解員或服務表冊），責任政（zhèng）府（fǔ）需要（yào）、進行（háng）安裝、進行調試、進行（háng）檢查、驗光持續並提（tí）供認（rèn）為的技術服務（wù）與質量確保、售後服務、技術開（kāi）展培訓等。

（2）工藝品附件（jiàn）：掩膜（mó）版、鎢舟、鉬舟、石英坩堝、晶振片、CF35銅（tóng）洗衣機、配合設（shè）備規格的密封圈等；
（3）特地工器械：拆除、進行安裝、收拾（shí）設備（bèi）時特（tè）地的工器械1套（包括外六方扳子、內六方扳子、螺絲釘刀（dāo）、扳（bān）子等裝備）。

較為條約訂約起作用後90趕明兒整批寄遞（包括附件（jiàn）及裝備）（詳細其次卷第六章供貨具體要求）

本具體（tǐ）項目坐落在陝西省西（xī）安長安太（tài）空飛行生產基地東長安街（jiē）589號

300

組（zǔ）成設備到（dào），但對容裏麵（miàn）。2.3重點
2.3.1局部真（zhēn）空

的任（rèn）意一種相關情況構件該設備的（de）安

完成配置及技術（shù）
蒸（zhēng）鍍設備主

、機件和設置在滿足相關條件時在本（běn）供貨適用範圍（wéi）及具體工作具體內容全值得信（xìn）賴（lài）正常運轉是必備的，也應包含在供貨適用範圍

形式（shì）參數
要完成配置

中並未提出具體工作內

序號

使用性能參照具體稱謂

技術具體要求

備考

1.1

局（jú）部真空鍍膜室

1.1.1

材料到整體結構

局部真空室使用304不鏽鋼，腔體內壁有關（guān）電解拋（pāo）

1.4.1

作為（wéi）源

進行配置2組非金（jīn）屬作為源和4組考古作為源，可（kě）配合蒸鍍非金屬、考古及考古材（cái）料；源與（yǔ）源彼（bǐ）此之間均配給避免穿插造成汙染的預防汙染板

1.4.2

非金屬作為電源（yuán）供應

進行配置可計算機編程的直流電流穩壓非金屬作為電源供應1套，非金屬作為電源（yuán）供應權力（lì）≥1.5 KW及上述，萬丈升壓（yā）熱度可達1500℃，且借助脈動電流進（jìn）行控製方（fāng）法，準確到0.1 A，並達成蒸鍍利率0.01Å/s的精確程度結果表明，可開展（zhǎn）脈動電流、聚氯乙烯運行方式（shì）的隨意

改稱和具備水冷進行控（kòng）製

1.4.3

考古作為電源供應

進行配（pèi）置考古作為電源供應1套；可借助脈動電（diàn）流（liú）或PID智能化溫控方法開展進行控製（使用脈動電流進行控製方（fāng）法時需準確到0.1A，並達（dá）成蒸鍍利率0.01Å/s的精確程度結果表明，可開展脈（mò）動電（diàn）流、聚氯乙烯運行方式的隨（suí）意改稱和具備（bèi）水冷進行控製；使用PID智能化溫控（kòng）方法（fǎ）時控溫精（jīng）確（què）程度±1℃）；

1.4.4

進行控製係統

使用（yòng）PLC+PC進行控製方法

1.4.5

更為安全維護具體措施

缺吃少穿欠（qiàn）壓（yā）開展檢（jiǎn）測與維護、相序（xù）開展檢測與維護、熱度開展（zhǎn）檢測與維護、局部真（zhēn）空係統開展檢測與維護。對泵、負極等缺（quē）吃少（shǎo）穿、過橫貫壓、斷路等不正常狀況開展告警並落實認為維護具體措施；使內容更加完整的次序互（hù）鎖，具有的防誤進行操作設計及維護。

1.5

膜厚（hòu）檢測係統

1.5.1

膜厚儀

老鼻子於1組膜厚儀，老鼻子於2套膜厚開展檢測探測器

1.5.2

作為利率（lǜ）進行（háng）測量精確程度

0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)

1.5.3

膜厚儀進行測量精（jīng）確程度（dù）

膜（mó）厚儀進行測量精確程度優惠±0.01Å/s，若鍍膜實現進行設置厚薄，可自動化隔離電源（yuán）供應，需要（yào）鍍膜且擋板好意思

1.5.4

熱度進行控（kòng）製精確程度

±1℃（RT~700℃）

1.5.5

厚薄進行測量精確程度

優惠±1Å；具有與電（diàn）源供應聯鎖具（jù）體功能

序號（hào）

標段具體稱謂（wèi）

輩數兒具體要求及功績具體要求

1

青海黃河中上遊電流研發著名具體責任公司太陽能幹電池及機件研發開展實驗室鈣鈦礦幹電池研發服務平台開展建設具體項目磁控濺射設備進行采購具體項目
 

投（tóu）標人（rén）輩數（shù）兒具體要求
投標人大體上輩數（shù）兒具體要求
（1）投標人具備進行相信簽訂較為條約的輩（bèi）數兒；
（2）投標人（rén）開（kāi）展經營景象（xiàng）較（jiào）好，具備較好的資信和金融信用（以“金融信用中國”網站網站（zhàn）進行調查加以為準,並未被進行參加重要進行違約（yuē）自治權名冊），並未正處在會進行（háng）引起中標後束手無策執行較為條約的被責成止血進行關閉（bì）、財產權被共管、進行結冰、失敗情況；
（3）財務管理景象及（jí）資信
近關（guān）於（yú）三年財務管理和資信（xìn）景象較好。並未財產權被共（gòng）管、進行結冰或正處在失敗情況。應給予銀行家作為的資信證明書、繳稅人輩數兒證明書。

（4）投標（biāo）人近36個月內(含，自投標截至日起往前預算)不仍然存在持續騙（piàn）取中標、重要進行（háng）食言及因自己的具體責任而（ér）使任意一種相關情況較為（wéi）條（tiáo）約被（bèi）消除的情（qíng）況（kuàng）；
（5）機構責（zé）任政府人工相同（tóng）人或是仍然存在控（kòng）股公司、進行管理聯係的有所區別機構不（bú）可在相同標段投標；

特地輩數兒具體條件
資格條件具體要求
投標（biāo）人一定要是在中中國人民共和國市場領域進行管理單位（wèi）計（jì）數器的，具備進行相信保證人（rén）和（hé）通常繳稅人輩數兒的磁（cí）控濺射設備生（shēng）產企業或辦事處企業。辦事處企（qǐ）業（yè）一定要給予磁控濺射設備生產企業作（zuò）為的切實有效進行核準書。相同貨色/產品（相同品牌名稱、相同型（xíng）號）隻得有集團投（tóu）標人，如為辦事處（chù）商投標（biāo），其中一個製造商對相同品牌名稱（chēng）、相同型（xíng）號的貨色，僅能寄托其中一個辦事處商參與投標，不然與此相關投標均做較為空空采用相（xiàng）應辦法（fǎ）解決。

功績具體要求（qiú）
投標（biāo）人應具備（bèi）近3年內（自投標（biāo）截至（zhì）日起往（wǎng）前預算，以需要驗光時段加以為準）順利完成起碼3台及上述磁控濺射設備供貨（huò）較為條約（yuē）功績，在這當中起碼有1台（tái）切（qiē）實有效進行（háng）加工幅麵更加不小於1.2m*0.6m供貨功績。【需給（gěi）予較為條約打印件（包含較（jiào）為（wéi）條約首頁、進（jìn）行聘書適（shì）用範圍、簽署（shǔ）頁）、需要證明書（需要驗光證明書或所有主作為的證（zhèng）明書文獻或其餘切實有效證明書材料）】

2

青海黃河中（zhōng）上遊（yóu）電流研發著名具體責任公司太陽能（néng）幹電池及機件（jiàn）研（yán）發（fā）開展（zhǎn）實驗（yàn）室（shì）鈣（gài）鈦礦幹電池研發服務平台（tái）開展建設具體項目北約設備進行采購具體項（xiàng）目
 

投標人輩數兒具體要（yào）求（qiú）
投標人大體上輩數兒具體要求（qiú）
（1）投標人具備進行（háng）相信簽（qiān）訂（dìng）較為條約的輩數兒；
（2）投標人開展經營景象較好，具備（bèi）較（jiào）好的資信和金融信用（以“金融信用中（zhōng）國”網站網站進行調查加以為準（zhǔn）,並未被進行參加重要進行違約自治權名冊），並未正處在會進行引起中標後束手無（wú）策執行較為（wéi）條約的被責成止血進行關閉、財產權被共管、進（jìn）行結冰、失敗情況（kuàng）；
（3）財務（wù）管理景象及資信
近關於三年財務管理和資信景象較好。並未財產權被共管、進行結冰或正（zhèng）處在失敗情況。應給予行作為的資信證明書、繳稅人輩（bèi）數兒證明書。

（4）投標人近36個月內(含，自投標截至日起往前預算（suàn）)不仍（réng）然存在（zài）持續騙取（qǔ）中標、重要進行食言及（jí）因自己的具體責任而使任意一種相關情況較為（wéi）條約被消除的情況；
（5）機構（gòu）責任政府人工相（xiàng）同人或是仍然存在控股公司、進行管理聯係（xì）的有所區別機構不可在相同（tóng）標段投標；

特地輩數兒具（jù）體條件
資（zī）格條件具體要求
投標人一定（dìng）要是在（zài）中中國人民共和國市場領域進（jìn）行管理單位（wèi）計數器的，具備進行相信保證人和通常繳稅人輩數兒的北約設備生產企業或辦事處企（qǐ）業。辦（bàn）事（shì）處企業（yè）須給予（yǔ）北（běi）約設備（bèi）生產企業作為的切實有效進行核（hé）準書。相同貨色/產品（相同品牌名稱、相（xiàng）同型號）隻得有集（jí）團投標人（rén）。如為辦事處商投標，其中一個製造商對相同品牌名稱、相同型號的貨（huò）色，僅能寄托其中一個辦事處商參與投（tóu）標，不然與此相關（guān）投標均做較為空空采（cǎi）用相應（yīng）辦（bàn）法解決。

功績（jì）具體要求
投標人應具備近3年內（自投標（biāo）截至日起往前預算，以需要驗光（guāng）時段加以（yǐ）為準）順利完成起碼3台同型號或（huò）好像技術（shù）規（guī）格的雙路或量產型北約塗抹（mò）清邊設備進行（háng）加工幅麵更加不（bú）小於1.2m*0.6m的鈣鈦礦產資源線設備供貨較為（wéi）條約（yuē）功績。【需給予較為條約打印件（包（bāo）含較為條約首頁、進行聘書（shū）適用範圍、簽署頁）、需要證明書（需要驗光證明書或所有主作為的證（zhèng）明書文獻或其餘切實有效證明書材料）】

3

青海黃河中上遊（yóu）電流研發著名具體責（zé）任公司（sī）太陽（yáng）能幹電（diàn）池（chí）及機件研發開展實驗室鈣鈦礦幹電（diàn）池研發服務平台（tái）開（kāi）展建設具體項目狹（xiá）縫塗布及附庸國設備進行（háng）采購具體（tǐ）項目
 

投標人大體上輩數兒具體要求
（1）投標人具備進行相信簽訂較為條約的輩數兒；
（2）投標人開展經營景象較好，具（jù）備較好的（de）資信和金融信用（以“金融信（xìn）用中國”網站網站進行調查（chá）加（jiā）以為準，並未被進行參加重要（yào）進行違約（yuē）自治（zhì）權名冊），並未（wèi）正處在會進行（háng）引起中標後（hòu）束（shù）手無策執行較為（wéi）條約（yuē）的被（bèi）責成（chéng）止血進（jìn）行關閉、財產權被共管、進行結冰、失敗情況；
（3）財務（wù）管理景象及資信
近關於三年財務管理和資信景象較好。並未財產權被共管、進行結冰或正處在失敗情況。應給予銀行（háng）家作為的資信證明書、繳稅人輩數兒證明書。

（4）投標人近36個月內(含，自投標截（jié）至日起往前（qián）預算)不仍然存在持續騙取中（zhōng）標、重要進行食言及因自己的具體責任而使任意一種相關情況較為條約被消除的情（qíng）況；
（5）機構責任政府人工相同人或是仍然存（cún）在控股公司、進行管理聯係的有所區別機構不可在相同標段投標；

特地輩數兒（ér）具體條（tiáo）件
資格條（tiáo）件具體要求：投標人一定要是在中中（zhōng）國人民共和國市場領域進（jìn）行管理單（dān）位（wèi）計數器的，具備進行相信保證（zhèng）人和通常繳稅人輩數兒的狹（xiá）縫塗添設備生產企業或辦事處（chù）企業。辦事處企業一定要（yào）給予狹縫塗添設備生產企（qǐ）業作為的切實有效進（jìn）行核準書。相同貨色/產品（相同品（pǐn）牌（pái）名稱（chēng）、相同型號（hào））隻得有集團投標人。如為辦事處商投標（biāo），其中一個製造商對相同品牌名稱、相同型號的貨色，僅能寄（jì）托其（qí）中一個辦事處商參與投標，不然與此相關投標均做較（jiào）為空空采用相應辦法解決。

功績具體要求：投標人（rén）應具備近3年內（自投標截（jié）至日往前預算，已需要驗光時段加以為準）順利完成起碼3台（tái）及上述（shù），進（jìn）行加工幅麵≥300 mm×300 mm的（de）狹縫塗添設備在（zài）鈣鈦礦幹電池（chí）準備範（fàn）圍供貨功（gōng）績，與此同時（shí）起碼有1台切實有效塗布幅麵更加（jiā）不小於1.2 m×0.6 m的供貨功績。【需給予較為條約打印件（包含較為條約（yuē）首（shǒu）頁、進行聘書適（shì）用範（fàn）圍、簽署頁）、需要證（zhèng）明書（需要驗光證明（míng）書或所有主作為的證明書文獻或其餘切實有（yǒu）效證明書材料）】。

4

青（qīng）海黃河中上遊電流研發著名具體責（zé）任公司太（tài）陽能幹（gàn）電池及機件（jiàn）研發開展實驗（yàn）室鈣鈦礦幹電池研發服務平台開（kāi）展建設具體項目局部真空蒸鍍設備進行采購具體（tǐ）項目
 

投標人輩數兒具（jù）體要求
投（tóu）標人大體上輩數兒具體要求
（1）投標人具備進（jìn）行（háng）相信簽訂較（jiào）為條約的輩數兒；
（2）投標人開展經營景（jǐng）象較好（hǎo），具備較好的資信和金融信用（以“金融信用中國”網站網站進行（háng）調查加以為準,並未被進行（háng）參加重要進行違約自治權名冊），並未正處在會進行引（yǐn）起中標後束手無策執行較（jiào）為條約的被責成止血進行關（guān）閉、財產權（quán）被共管、進行結冰、失敗情況；
（3）財務管理景象及（jí）資信
近關於（yú）三年財務管理和資信景象較好。並未財產權（quán）被共管、進行結冰或正處在失（shī）敗情況。應給予銀行家作為的資信證明書、繳（jiǎo）稅（shuì）人輩數兒證明書。

（4）投標人近36個（gè）月內(含，自投標截至日起（qǐ）往前預算)不仍然（rán）存在持續騙取中標、重要進行食言及因自己的具體責任而使（shǐ）任意一（yī）種相關情況較為條約被消除的情況（kuàng）；
（5）機構責任政府人工相同人或（huò）是仍然存在控股公司、進行管理聯係的有所區別機構不可在相（xiàng）同標段投標；

特地輩數（shù）兒（ér）具體條件
資格條件具體要求（qiú）
投標人一定要是在中（zhōng）中（zhōng）國人民共和國市場領域（yù）進行管理單位計數器的，具備進行相信保證人和通（tōng）常繳（jiǎo）稅人輩數兒的局部真空蒸鍍設備生產企業或辦事處企業。辦事處企業一定要給予局部真空蒸鍍設備生（shēng）產企業作為的切實有效進行核準（zhǔn）書（shū）。相同貨色/產品（相（xiàng）同品（pǐn）牌名稱、相同型號）隻得有集團投標人。如為辦（bàn）事處商（shāng）投標，其中一個（gè）製造（zào）商對相（xiàng）同品牌名稱、相同型（xíng）號的貨色，僅能寄（jì）托其中一（yī）個辦事處（chù）商參與投（tóu）標，不然（rán）與（yǔ）此（cǐ）相關投標均（jun1）做較為空空（kōng）采（cǎi）用相應辦法解決。

功績具體要求
投標人應具備近3年內（自投標截至日起往（wǎng）前預算，以需（xū）要驗光時段（duàn）加以為準）順利完成起碼3台（tái）及上述差不離型和具體功能的切實有效進行加工幅麵更加不小於30mm*30mm蒸鍍（dù）設備供貨功績。【需給予較為條約打（dǎ）印件（包含較為（wéi）條約首頁、進行聘書適用範圍、簽署頁（yè））、需要證明書（需要（yào）驗光證明書或所有（yǒu）主作為的證（zhèng）明書文獻或其餘切實有（yǒu）效證明書材料）】